少妇爆乳无码AV无码专区,无码国模,人人操人人舔人人摸,国产亚洲午夜高清国产亚洲

咨詢熱線

18602170419

當前位置:首頁  >  產品展示  >  加工定制服務  >  大型儀器設備  >  無掩膜數字光刻機 MCML-120A

無掩膜數字光刻機 MCML-120A

簡要描述:無掩膜數字光刻機 MCML-120A采用數字微鏡 (DMD) 的無掩膜掃描式光刻機,365nm波長

直接從數字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過程,支持直接讀取GDSII和BMP文件

全自動化的對焦和套刻,易于使用

  • 產品型號:
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-12-05
  • 訪  問  量:1351

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
組件類別光學元件應用領域綜合
參數見參數表

無掩膜數字光刻機 MCML-120A產品特點

采用數字微鏡 (DMD) 的無掩膜掃描式光刻機,365nm波長

直接從數字圖形生成光刻圖案,免去制作掩模板的中間過程,支持直接讀取GDSII和BMP文件

全自動化的對焦和套刻,易于使用

晶圓連續(xù)運動配合DMD動態(tài)曝光,無拼接問題。全幅面絕對定位精度0.1um

套刻精度: 0.2um

500 nm / 1 um分辨率,100mm x 100mm最大幅面(4~6寸晶圓),滿幅面曝光時間5~30分鐘

500um最小線寬

可灰度曝光(128階)

尺寸小巧,可配合專用循環(huán)裝置產生內部潔凈空間

無掩膜數字光刻機 MCML-120A

通用參數

應用

微流控、生物芯片、MEMS、功率器件、LED等試制加工

帶有2.5D圖案的微光學元件,衍射光器件制作

教學、科研


參數


MCML-110A

MCML-120A

Wavelength 波長

365nm

365nm

Max. frame 最大幀

100mm x 100mm

100mm x 100mm

Resolution 分辨率

1.0um

500nm

Grayscale lithography

灰度光刻

64 levels

128 levels

Max exposure

最大曝光量

500mJ/cm2

2000mJ/cm2

Alignment accuracy

對準精度

<200nm

<100nm

field curvature

場曲率

< 1 um

< 1 um

Speed

速度

5mm2 /sec

2.5mm2 /sec

Input file

輸入文件

BMP, GDSII

BMP, GDSII

Z level accuracy

Z級精度

<1 um

<1 um

Environment

環(huán)境

20~25℃

20~25℃


樣品





(SU8-2002, 2um膠厚,2寸硅基底)




產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數字),如:三加四=7