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簡要描述：筱曉(上海)光子技術(shù)有限公司是一家被上海市評為高新技術(shù)企業(yè)的專業(yè)光學(xué)服務(wù)公司，業(yè)務(wù)涵蓋設(shè)備代理以及項(xiàng)目合作研發(fā)，建有*的AOL(Advanced Optical Labs)光學(xué)實(shí)驗(yàn)室，為國內(nèi)外客戶提供專業(yè)技術(shù)支持服務(wù)XUV/EUV 寬帶軟X射線高分辨率光譜儀 2-100nm
產(chǎn)品型號：廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2024-12-08訪 問 量：700詳細(xì)介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
|---|---|---|---|
| 組成要素 | 半導(dǎo)體激光器產(chǎn)品及設(shè)備 | 產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 |
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材,電子 |
具有高分辨率和效率的多功能光譜儀
隨著在半導(dǎo)體制造中使用 13.5 nm輻射的 EUV 光刻技術(shù)的發(fā)展，極紫外輻射（EUV、XUV）已成為一個(gè)重要的工業(yè)意義。這導(dǎo)致對高分辨率和靈敏的診斷和測量技術(shù)的需求。因此，我們構(gòu)建了一個(gè)模塊化的 XUV / EUV 和軟 X 射線光譜儀，可用于等離子體光譜學(xué)、源診斷和計(jì)量學(xué)。它te別適用于激光等離子體源（LPS）和高次諧波源（高次諧波產(chǎn)生high harmonic generation，HHG）。
該光譜儀設(shè)計(jì)靈活，適用于多種應(yīng)用。對于廣泛的幾何形狀，可以獲得非常高的光譜分辨率。通常，分辨率僅受檢測器系統(tǒng)像素大小的限制（XUV CCD 為 13.5 µm）。光譜儀的所有部件都是 UHV 級的。
寬帶高光譜分辨率
普通光譜儀針對一個(gè)波長的特定分辨率進(jìn)行了優(yōu)化。相比之下，我們的專業(yè)設(shè)計(jì)可在寬帶寬下實(shí)現(xiàn)高分辨率。例如，我們的 XUV 光譜儀在 12-41 nm 的整個(gè)帶寬內(nèi)達(dá)到<0.08 2="" 100="" nm="">10000 的超高分辨率。
操作方式及可用性
我們靈活的光譜儀提供多種操作模式，可以在操作過程中改變。
通過使用行程范圍為幾厘米的多軸電動(dòng)工作臺，用戶可以輕松地對設(shè)備進(jìn)行校準(zhǔn)。此外，可以在光束路徑中在線放置不同的光學(xué)器件來測量不同的光束特性。該光譜儀具有以下工作模式:(1)XUV光束檢測，(2)角分辨光譜，(3)高效、光譜分辨率高的成像光譜。
下圖為角分辨光譜(a、b)和成像光譜(c、d)的測量結(jié)果。
我們提供
優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品
為您的應(yīng)用程序全定制
2-100 nm 的光譜范圍
高達(dá) λ/Δλ > 10000 的高分辨率
多功能設(shè)置：電動(dòng)載物臺和自適應(yīng)法蘭
不透光的設(shè)置：可以集成遮光罩
超高真空 (UHV, < 10-9 mbar) 條件
在線操作模式&對準(zhǔn)&光束檢測
狹縫和無狹縫設(shè)置
出色的信噪比 (SNR) 和Max. 的光收集效率
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